電子束離開加速管后經(jīng)漂移管進入輻照廳。穿過掃描磁鐵組件時,在三角波磁場的作用下,進行X和Y相互垂直兩個方向的掃描。最后經(jīng)長條形的鈦窗引出。鈦箔的厚度既要有足夠的強度以抵抗真空壓力,又要盡量減少電子束在穿越時的能量損耗。我們?nèi)?.04mm。即使如此,鈦箔上的能耗仍舊相當可觀,因此沿鈦窗安裝了一把風刀,針對鈦箔進行強風冷卻。同時考慮到用戶有可能使用反射磁鐵,因此掃描窗外表面配水冷卻回路。
在加速管出口至掃描磁鐵之間的漂移管外面,還安裝有聚焦線圈和導向線圈,用以調(diào)節(jié)束流的聚焦和方向。
掃描磁鐵由專用三角波激磁電源供電,X方向的掃描頻率為150Hz,Y方向為3000 Hz。